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真空等离子清洗机SPV200

2018-09-20 15:23

 深入表面 · 魅力科学

真空等离子清洗机SPV200

1)产品简述

1.1)等离子清洗的作用

等离子清洗的作用原理主要是:

A)对材料表面的刻蚀作用--物理作用

等离子体中的大量离子、激发态分子、自由基等多种活性粒子,作用到固体样品表面,不但清除了表面原有的污染物和杂质,而且会产生刻蚀作用,将样品表面变粗糙,形成许多微细坑洼,增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。

B)激活键能,交联作用

等离子体中的粒子能量在0~20eV,而聚合物中大部分的键能在0~10eV,因此等离子体作用到固体表面后,可以将固体表面的原有的化学键产生断裂,等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构,大大地激活了表面活性。

C)形成新的官能团--化学作用

如果放电气体中引入反应性气体,那么在活化的材料表面会发生复杂的化学反应,引入新的官能团,如烃基、氨基、羧基等,这些官能团都是活性基团,能明显提高材料表面活性。

 

真空等离子清洗机SPV200 

1.2)真空等离子清洗的优势

等离子清洗作为重要的材料表面改性方法,已经在众多领域广泛使用。

与传统的一些清洗方法,如超声波清洗、UV清洗等,具有以下优点:

A)处理温度低

处理温度可以低至80℃、50℃以下,低的处理温度可以确保对样品表面不造成热影响。

B)处理全程无污染

等离子清洗机本身是很环保的设备,不产生任何污染,处理过程也不产生任何污染。

可以与原有生产流水线搭配,实现全自动在线生产,节约人力成本。

C)处理效果稳定

等离子清洗的处理效果非常均匀稳定,常规样品处理后较长时间内保持效果良好。

D)可以处理各种形状的样品

对于复杂形状的样品,等离子清洗都能找到合适的解决方案。

真空等离子清洗更可实现对固体样品内部位置进行清洗。

 

真空等离子清洗机SPV200 

1.2)产品原理

等离子清洗机的结构主要分为三个大的部分组成,分别是控制单元、真空腔体以及真空泵。

A)控制单元:

控制单元主要分为半自动控制、全自动控制、PC电脑控制、液晶触摸屏控制四种方式。

而控制单元又分为两个大的部分:1)电源部分:主要电源频率有三种,分别是40KHz、13.56MHz、2.45GHz,其中13.56MHz是需要电源匹配器的,而2.45GHz又称为微波等离子。2)系统控制单元:分三种,按钮控制(半自动、全自动)、电脑控制、PLC控制(液晶触摸屏控制)。

B)真空腔体:

真空腔体主要是分为两种材质的:1)不锈钢真空腔体,2)石英腔体。

C)真空泵:

真空泵种类较多,其选择会根据用户的真空度要求、体积要求来配置。

 真空等离子清洗机SPV200 


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2)技术规格

系统标准配件

设备尺寸

1105W * 1488D * 1842Hmm (2158mm带信号灯高度)

水平极板

8层

电极板

402W * 450Dmm

气体流量控制器,2路工艺气体

0-300ml/min

真空测量

日本ulvac真空计

人机界面触摸屏

SD自主研发

电极间距

48mm

信号指示灯

3色带警报

真空泵

90m3/h双极油泵

系统电力&机械

电源:AC380V,50/60Hz

额定功率5000W

系统重量(设备主机/真空泵)

<600Kg

占地面积:设备主机

1805(W)×1988(D)×1842(H) mm

射频电源

射频电源频率

13.56MHz

射频电源功率

1000W

射频电源匹配器

全自动匹配,领先的空气电容技术

设备必备条件

电源:AC380V,50/60Hz,三相五线

7.5KVA

压缩空气要求

无水无油CDA 60~90psig

抽风系统

≥2立方/分钟,中央尾气处理管道即可

系统环境温度要求

≤30℃(室温最佳)

工艺气体要求

15~20psig  99.996%或以上纯度;

 


3)性能优势

3.1)原装进口电源:采用原装进口高压激励电源电路技术,产生高密度等离子体,确保出众的清洗效果。

3.2)全面安全防护:温度安全防护功能,过载防护功能,短路断路报警防护功能,各种误操作保护功能。

3.3)独有放电技术:特殊处理及特殊结构的放电装置,确保形成稳定均匀的等离子体。

3.4)密封性卓越的真空腔体设计:军工级的高真空度真空腔体设计及制造工艺,配置进口真空泵。

3.5)优质产品部件:产品全部部件采用优质部件,确保设备性能优越

3.6)超低清洗温度:满足不同场合温度要求,不对清洗产品造成温度影响。

3.7)精密数控加工:进口精密CNC数控机床加工工艺,并配备进口三坐标测量仪进行质量监控。

3.8)适用形状复杂样品:清洗各种复杂形状的产品,包括内孔内壁,全方位均匀清洗

 

服务热线

400-0251-686